Образец для цитирования:
Вениг С. Б., Махди О. С., Маляр И. В., Синёв И. В., Смирнов А. В., Кисин В. В. Морфология тонких пленок диоксида олова, обладающих газочувствительностью при температуре, близкой к комнатной // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия Физика. 2015. Т. 15, вып. 4. С. 17-21. DOI: https://doi.org/10.18500/1817-3020-2015-15-4-17-21
Морфология тонких пленок диоксида олова, обладающих газочувствительностью при температуре, близкой к комнатной
Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были нанесены на кремниевые подложки тонкие плёнки диоксида олова, обладающие чувствительностью к парам этанола при температуре, близкой к комнатной (38°С). Измерения микроструктуры с помощью сканирующего электронного микроскопа и атомно-силового микроскопа показали, что полученные образцы состоят из зёрен, имеющих форму стержней с нанометровым поперечным размером, ориентированных по нормали к поверхности подложки. Между зёрнами располагаются поры, пронизывающие плёнку на всю толщину.
1. Comini E., Baratto C., Concina I., Faglia G., Falasconi M., Ferroni M., Galstyan V., Gobbi E., Ponzoni A., Vomiero A., Zappa D., Sberveglieri V., Sberveglieri G. Metal oxide nanoscience and nanotechnology for chemical sensors // Sensors and Actuators B. 2013. Vol. 179. P. 3–20.
2. Pearce T. C., Schiffman S. S., Nagle H. T., Gardner J. W. Handbook of Machine Olfaction : Electronic Nose Technology. Weinheim : Wiley-VCH, 2003.
3. Rembeza S. I., Rembera S. I., Rembera E. S., Svistova T. V., Borsiakova O. I. Electrical resistivity and gas response mechanisms of nanocrystalline SnO2 fi lms in a wide temperature range // Physica Status Solidi (a). 2000. Vol. 179, № 1. С. 147–152.
4. Wang S., Wang Z., Liu X., Zhang L. DC and AC response of SnO2 sensor to CO // Sensors and Actuators B. 2008. Vol. 131. P. 318–322.
5. Betty C. A., Choudhury S., Girija K. G. Reliability studies of highly sensitive and specifi c multi-gas sensor based on nanocrystalline SnO2 fi lm // Sensors and Actuators B. 2014. Vol. 193. P. 484– 491.
6. Kissine V. V., Sysoev V. V., Voroshilov S. A. Conductivity of SnO2 thin fi lms in the presence of surface adsorbed species // Sensors and Actuators B : Chemical. 2001. Vol. 79, № 2. P. 163–170.
7. Сысоев В. В., Кучеренко Н. И., Кисин В. В. Текстурированные пленки оксида олова для микросистем распознавания газов // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30, № 18. С. 14–20.
