Анисимов Илья Андреевич РоссияСаратовИРЭ им. В.А.Котельникова РАН, 141120, г. Фрязино Московской области, пл. Введенского 1инженерgvc@ms.ire.rssi.ru Статьи автора Определение параметров планарных конденсаторов на основе тонкопленочных сегнетоэлектрических материалов