Яфаров Равиль Кяшшафович РоссияСаратовСаратовский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского, 410012, г. Саратов, ул. Астраханская, 83профессорpirpc@yandex.ru Статьи автора Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники Углеродный пленочный нанокомпозит для сильноточных полевых источников электронов Влияние плазмохимической модификации поверхности на поперечный электронный транспорт и вольт-амперные характеристики кремниевых структур металл–диэлектрик–полупроводник