Рассмотрены достоинства и преимущества использования для реализации нанотехнологий высокоионизованной низкоэнерге- тичной СВЧ-плазмы низкого давления. Показано, что по своим функциональным возможностям одна установка на основе СВЧ- плазмы может заменить 4–5 установок с обычным высокочастот- ным возбуждением газового разряда.